微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析

方莉俐 张战 李嘉 马丽莹 赵豪民 于鸿昌 吴宝善

方莉俐, 张战, 李嘉, 马丽莹, 赵豪民, 于鸿昌, 吴宝善. 微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析[J]. 高压物理学报, 1991, 5(3): 197-204 . doi: 10.11858/gywlxb.1991.03.007
引用本文: 方莉俐, 张战, 李嘉, 马丽莹, 赵豪民, 于鸿昌, 吴宝善. 微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析[J]. 高压物理学报, 1991, 5(3): 197-204 . doi: 10.11858/gywlxb.1991.03.007
FANG Li-Li, ZHANG Zhan, LI Jia, MA Li-Ying, ZHAO Hao-Min, YU Hong-Chang, WU Bao-Shan. Analysis of the Morphologies of Diamond Film Grown by Microwave Plasma CVD Method[J]. Chinese Journal of High Pressure Physics, 1991, 5(3): 197-204 . doi: 10.11858/gywlxb.1991.03.007
Citation: FANG Li-Li, ZHANG Zhan, LI Jia, MA Li-Ying, ZHAO Hao-Min, YU Hong-Chang, WU Bao-Shan. Analysis of the Morphologies of Diamond Film Grown by Microwave Plasma CVD Method[J]. Chinese Journal of High Pressure Physics, 1991, 5(3): 197-204 . doi: 10.11858/gywlxb.1991.03.007

微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析

doi: 10.11858/gywlxb.1991.03.007
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    方莉俐

Analysis of the Morphologies of Diamond Film Grown by Microwave Plasma CVD Method

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出版历程
  • 收稿日期:  1991-02-02
  • 修回日期:  1991-07-03
  • 发布日期:  1991-09-05

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