室温下用脉冲激光沉积E-BN薄膜

任志昂 张灿云 钟向丽 王金斌 杨国伟

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室温下用脉冲激光沉积E-BN薄膜

    通讯作者: 任志昂; 

Pulsed Laser Deposition of Explosion Boron Nitride at Ambient Temperature

    Corresponding author: REN Zhi-Ang
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-12-01
  • 录用日期:  2002-03-04
  • 刊出日期:  2002-12-05

室温下用脉冲激光沉积E-BN薄膜

    通讯作者: 任志昂; 
  • 1. 湘潭大学物理系,湖南湘潭 411105

摘要: 在利用等离子体增强脉冲激光沉积系统沉积立方氮化硼(cBN)薄膜时,发现了氮化硼(BN)材料的E-BN相,并利用扫描电镜和红外吸收光谱及X射线衍射技术对薄膜样品进行了分析,得到了制备较高质量E-BN薄膜的一些热力学参数及时间参数,验证了现有的E-BN结构的形成理论。

English Abstract

参考文献 (6)

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