金刚石表面杂质的深度分布

张书达; 朱瑶华

doi:10.11858/gywlxb.1992.03.003

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金刚石表面杂质的深度分布

张书达 , 朱瑶华

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金刚石表面杂质的深度分布

张书达 ^{1,2
, ,},
朱瑶华 ²

1.
中国科学院国际材料物理中心，辽宁沈阳 110015；
2.
天津广播电视大学，天津 300191

通讯作者: 张书达;

The Surface Impurities Depth-Profiling on the Diamond

ZHANG Shu-Da ^{1,2
,
,} ,
ZHU Yao-Hua ²

1.
International Center for Materials Physics, Academia Sinica, Shenyang 110015, China;
2.
Tianjin Radio & TV University, Tianjin 300191, China

Corresponding author: ZHANG Shu-Da

摘要: 利用二次离子质谱法（SIMS）测量和分析了金刚石的表面杂质。为获得表面杂质的深度分布，采用了离子剥蚀法，用15 keV的Ar+总共剥蚀了6 400 s，以N、Na、Mg和Si四种杂质作为研究对象。结果表明，各种杂质的浓度最大值均位于最外表面的一薄层内，它相当于剥蚀时间不足6.5 min。对于某一给定的杂质，在不同样品的最外表面上的浓度可以相差很悬殊。但当Ar+剥蚀30 min以后，不同样品中的浓度相差不大，且同一样品中，各种杂质的浓度随剥蚀时间的增大（即随深度的增加）变化不大。
- 金刚石 /
- 表面杂质 /
- 深度分析
Abstract: The surface impurities on the diamond were determined and analyzed by the secondary ion mass spectroscopy (SIMS). In order to obtain the depth-profiling of the surface impurities, the ion erosion method was used. The total erosion time was 6 400 s by Ar+ at 15 keV, and N, Na, Mg and Si were chosen as the impurities to be observed. The results indicate that the concentration maximums of the various impurities are situated in a thin layer near the most outward surface and its erosion time correspond to less than 6.5 min; the concentrations for a given impurity, at the most outward surfaces of two different samples, may differ enormously; if the erosion time exceed 30 min, however, this concentration difference in different samples is not large. Also variations in impurities concentrations are not obvious as the erosion time (i. e. as the depth) increases, in the same sample.
- diamond /
- surface impurities /
- depth-profiling

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金刚石表面杂质的深度分布

张书达^1,2,,
朱瑶华²

通讯作者: 张书达;

1. 中国科学院国际材料物理中心，辽宁沈阳 110015；
2. 天津广播电视大学，天津 300191

收稿日期: 1991-11-04
录用日期: 1992-05-18
网络出版日期: 1992-09-05

关键词:

摘要: 利用二次离子质谱法（SIMS）测量和分析了金刚石的表面杂质。为获得表面杂质的深度分布，采用了离子剥蚀法，用15 keV的Ar+总共剥蚀了6 400 s，以N、Na、Mg和Si四种杂质作为研究对象。结果表明，各种杂质的浓度最大值均位于最外表面的一薄层内，它相当于剥蚀时间不足6.5 min。对于某一给定的杂质，在不同样品的最外表面上的浓度可以相差很悬殊。但当Ar+剥蚀30 min以后，不同样品中的浓度相差不大，且同一样品中，各种杂质的浓度随剥蚀时间的增大（即随深度的增加）变化不大。